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垂直式等离子清洗设备
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垂直式等离子清洗设备
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发布日期:
2023/03/13
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详细介绍
产品特点:
•采用上进气下抽气的方式,zhuanli的抽气挡板保证优良的均匀性。
•具有缺气、压力保护、电路保护等安全保护系统。
•电极板用整块铝板中间镂空,冷却通道采用深钻孔方式结合内部 特定位置截流,引导冷却水按规定方向运行,保证温度均匀性。
•采用两路水路,分别单独给真空腔体和干泵确保冷却效果。
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